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商品描述
SIPV40P，氣動，密封式波紋管，鋁制閥體 C41644000
這類閥是軟啟動的氣動操作閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。
應(yīng)用
波紋管密封的閥門單向執(zhí)行，采用氣動打開，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標準配置中包含一個微開關(guān)，用于指示閥門狀態(tài)。閥門和微開關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門內(nèi)冷凝。
盡管閥門主要設(shè)計用于半導體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。
特性和優(yōu)點
平均無故障時間可達 5000000 個循環(huán)
抽氣受控制以適合相關(guān)制程
鋁閥體
100% 無油脂的真空
在斷電時閥可以快速反應(yīng)
采用波紋管密封以保證清潔操作
孔板可更換，維護方便
供貨時帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝板，可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
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