這類(lèi)閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作閥,帶有可更換的孔板,可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。

應(yīng)用
波紋管密封的閥門(mén)單向執(zhí)行,采用氣動(dòng)打開(kāi),彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個(gè)可更換孔板,以使泵的性能符合您的制程需要。標(biāo)準(zhǔn)配置中包含一個(gè)微開(kāi)關(guān),用于指示閥門(mén)狀態(tài)。閥門(mén)和微開(kāi)關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣,防止制程氣體在閥門(mén)內(nèi)冷凝。
盡管閥門(mén)主要設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體行業(yè),但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。


特性和優(yōu)點(diǎn)
平均無(wú)故障時(shí)間可達(dá) 5000000 個(gè)循環(huán)
抽氣受控制以適合相關(guān)制程
鋁閥體
100% 無(wú)油脂的真空
在斷電時(shí)閥可以快速反應(yīng)
采用波紋管密封以保證清潔操作
孔板可更換,維護(hù)方便
供貨時(shí)帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝板,可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能


尺寸
