pHMB 近程增壓泵是一種水冷的正向羅茨真空泵,通過一個交流變頻器驅(qū)動。
每個泵都必須使用按制程和性能規(guī)范而選擇的適當(dāng) Edwards 干泵做為后援。
注意:這些系統(tǒng)不適合用作獨(dú)立的裝置。

應(yīng)用
pHMB1800 系統(tǒng)只應(yīng)在負(fù)載鎖應(yīng)用中使用。
pHMB 只能與 iF 前級泵系統(tǒng)一起使用。



特性和優(yōu)點(diǎn)
低運(yùn)行成本

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能

尺寸
