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  • SCU-350 控制器 YT21Z3ZC0
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  • SCU-350 控制器 YT21Z3ZC0

     SCU-350 控制器 YT21Z3ZC0

    • ￥88888.00
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商品描述

 SCU-350 控制器 YT21Z3ZC0

Edwards新 SCU-350 是一種符合 EU-RoHS 標(biāo)準(zhǔn)適合小型渦輪泵使用的控制器。它完全兼容當(dāng)前的控制器型號(hào)，但是低頻范圍下的抗振性更好它的輸入電壓也較低，有助于降低電氣容量和了功耗。SCU-350的電噪抗擾度更好，配備了通用電壓功能，工作電壓范圍為 100-240 VAC 目無需切換


應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

濺射

離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站

MBE

擴(kuò)散

光致抗蝕劑脫模

晶體/晶膜生長

晶片檢查

負(fù)載鎖真空腔

科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

高能物理：射束線、加速器

放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋


特性和優(yōu)點(diǎn)

技術(shù)數(shù)據(jù)

性能


尺寸

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