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STPH301CV TMS ISO100F 進(jìn)氣口 YT3416001
Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為最嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種泵經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)的可靠性和一流的性能可以實(shí)現(xiàn)最大的制程靈活性。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長(zhǎng)
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
特性和優(yōu)點(diǎn)
先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)
更高的氣體吞吐量
最大的制程靈活性
無(wú)油
低振動(dòng)
高度可靠
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長(zhǎng)
先進(jìn)的控制器設(shè)計(jì)
自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無(wú)電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無(wú)污染
少維護(hù)
任意方向操作
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購(gòu)買人 會(huì)員級(jí)別 數(shù)量 屬性 購(gòu)買時(shí)間
- 商品滿意度 ：
-
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