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STP-iXA 4506CV VG300 TMS YT7810000
STP 泵（帶集成控制器）
STP 磁懸浮渦輪分子泵是長時(shí)間無碳?xì)浠衔锏谋貌僮鞯氖走x泵。多軸磁力軸承系統(tǒng)用于在運(yùn)行期間懸起轉(zhuǎn)軸，確保無污染的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)將振動(dòng)、噪聲以及維護(hù)需求降至最低。STP 泵可與各種先進(jìn)的控制器全面連接，從而可用于多種應(yīng)用和制程中。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性和優(yōu)點(diǎn)
由于采用全集成控制器和電源，不需要電纜和單獨(dú)的
控制器安裝卡槽，從而使 TMP 組件具有成本效益且結(jié)構(gòu)緊湊，能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
最大連續(xù)流量達(dá) 4300 sccm (N2)，與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
使用最高 35 °C 的冷卻水供應(yīng)時(shí)，泵能夠高效運(yùn)轉(zhuǎn)。
提供了溫度管理系統(tǒng) (TMS) 裝置，用于處理在過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品。
I/O 遠(yuǎn)程、RS232C、RS485、STP-Link 是標(biāo)配端口。
UL 標(biāo)記，CE 標(biāo)記，符合 SEMI-S2 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購買人 會(huì)員級(jí)別 數(shù)量 屬性 購買時(shí)間
- 商品滿意度 ：
-
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