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商品描述
STP-iXA3306C ISO320F（帶 Profibus） YT820Z070
TP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的最新技術(shù)）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性和優(yōu)點
緊湊型設(shè)計，包括完全集成的控制器
創(chuàng)新性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購買人 會員級別 數(shù)量 屬性 購買時間
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