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商品描述
STP-iXA3306C ISO320F YT820Z040
TP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的最新技術(shù)）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性和優(yōu)點(diǎn)
緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器
創(chuàng)新性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購(gòu)買人 會(huì)員級(jí)別 數(shù)量 屬性 購(gòu)買時(shí)間
總計(jì) 0 條記錄
- 商品滿意度 ：
-
暫無(wú)評(píng)價(jià)信息
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