概述
這些產(chǎn)品是高性能的緊湊型裝置,采用 63 mm 或 100mm Diffstak,兩者均由 RV5 雙級(jí)旋轉(zhuǎn)泵提供支持。閥上的進(jìn)氣口抽速分別為 135 l s-1 和 280 l s-1。
Diffstak 配有集成的水冷卻擋板,適用于手動(dòng)直角回轉(zhuǎn)和前級(jí)/粗抽閥。手動(dòng)進(jìn)氣閥和皮拉尼真空計(jì)安裝在旋轉(zhuǎn)泵的前級(jí)線路中。該裝置配備了旋轉(zhuǎn)泵油,但是應(yīng)該從液體和密封劑一節(jié)中選擇蒸汽泵液體。其他真空計(jì)都是可選的附加裝置。

應(yīng)用
UHV系統(tǒng)
實(shí)驗(yàn)室真空
質(zhì)譜分析和
薄膜覆層
表面物理


功能和優(yōu)勢(shì)
高抽速
集成的手動(dòng)前級(jí)/粗抽系統(tǒng)
手動(dòng)高真空進(jìn)氣口閥與水冷卻進(jìn)氣口擋板相結(jié)合
前級(jí)線路中的有源皮拉尼規(guī)頭 - 提供 Diffstak 聯(lián)鎖
增強(qiáng)了最高溫度表面的安全屏蔽
腳輪是標(biāo)配部件

技術(shù)數(shù)據(jù)

