IS16K 真空聯(lián)鎖開關(guān)的目的是保護(hù)操作者,當(dāng)系統(tǒng)恢復(fù)到大氣壓時(shí),它將確保真空腔內(nèi)的電子電路不再通電。
典型的應(yīng)用包括薄膜沉積和真空系統(tǒng)上的 HT 清潔或制程電路聯(lián)鎖。
IS16K 可用于高真空環(huán)境,具有防腐蝕的特性,所有潮濕部件均由不銹鋼制造。高額定電流允許直接切換負(fù)載而不需額外的繼電器或外部電源。

應(yīng)用
熔爐
實(shí)驗(yàn)室
儲(chǔ)罐裝置
包裝
通用泵送裝置

特性和優(yōu)點(diǎn)
單一的不可調(diào)整設(shè)定點(diǎn),無法意外或惡意改動(dòng)。
主動(dòng)斷路開關(guān)
快速接觸分離,防止產(chǎn)生電弧
直接斷路,無需繼電器
防腐蝕材料暴露于真空中
直接管道安裝

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能

尺寸
