EH250C 機(jī)械增壓泵已經(jīng)過鑒定,可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。
防爆型機(jī)械增壓泵可能配備防爆型電機(jī),或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請咨詢 Edwards。

應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2 激光


特性和優(yōu)點
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到最低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能

尺寸
