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商品描述
EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41952112
新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
應用
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
特性和優(yōu)點
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。
獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網絡 - EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。
技術數據
性能
尺寸
- 購買人 會員級別 數量 屬性 購買時間
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