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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

技術(shù)

EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統(tǒng)清潔，不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。

泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭（由客戶指定）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當(dāng)，以便不會達到結(jié)露點。

泵裝有一個 EMC 供應(yīng)過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標(biāo)識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當(dāng)泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度最終達到其預(yù)定的最大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。

EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設(shè)備進行控制和監(jiān)視，而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

泵保護傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關(guān)閉泵。

應(yīng)用

EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控

特性和優(yōu)點

緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。

獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非?？煽?– EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進行診斷監(jiān)視和控制。

技術(shù)數(shù)據(jù)

性能

尺寸