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商品描述
iH1800 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59040957
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
特性和優(yōu)點
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
技術數(shù)據(jù)
性能
尺寸
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