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  • STP603C ISO160F 進(jìn)氣口 YT39B0110
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  • STP603C ISO160F 進(jìn)氣口 YT39B0110

     STP603C ISO160F 進(jìn)氣口 YT39B0110

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商品描述

 STP603C ISO160F 進(jìn)氣口 YT39B0110

Edwards STP603 是新型的渦輪分子泵，可用于最先進(jìn)的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)一流的性能，最大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。


應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

濺射

離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站

MBE

擴(kuò)散

光致抗蝕劑脫模

晶體/晶膜生長

晶片檢查

負(fù)載鎖真空腔

科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

高能物理：射束線、加速器

放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

特性和優(yōu)點(diǎn)

先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

最大的制程靈活性

無油

低振動

高度可靠

免維護(hù)

先進(jìn)的控制器設(shè)計(jì)  

自動調(diào)整

自行診斷功能

直流電機(jī)驅(qū)動

無電池運(yùn)行

緊湊型設(shè)計(jì)  

占地面積小

半機(jī)架控制器

技術(shù)數(shù)據(jù)

性能

尺寸

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