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商品描述
STP603 ISO160F 進氣口 YT39B0030
Edwards STP603 是新型的渦輪分子泵，可用于最先進的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實現(xiàn)一流的性能，最大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認可。
應(yīng)用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
特性和優(yōu)點
先進的轉(zhuǎn)子技術(shù)
最大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
先進的控制器設(shè)計
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行
緊湊型設(shè)計
占地面積小
半機架控制器
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
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- 商品滿意度 ：
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