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商品描述
STP451C ISO160K 入口 B74851010
超高真空 STP 泵
STP 磁懸浮渦輪分子泵是長時間無碳氫化合物的泵操作的首選泵。多軸磁力軸承系統(tǒng)用于在運行期間懸起轉(zhuǎn)軸，確保無污染的風險，同時將振動、噪聲以及維護需求降至最低。STP 泵可與各種先進的控制器全面連接，從而可用于多種應用和制程中。
應用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應用：融合系統(tǒng)、回旋
特性和優(yōu)點
先進的轉(zhuǎn)子技術(shù)
最大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
先進的控制器設計
自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行
緊湊型設計
占地面積小
半機架控制器
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
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