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    STP451 ISO160K 入口 B74840030

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商品描述

STP451 ISO160K 入口 B74840030

超高真空 STP 泵

STP 磁懸浮渦輪分子泵是長(zhǎng)時(shí)間無(wú)碳?xì)浠衔锏谋貌僮鞯氖走x泵。多軸磁力軸承系統(tǒng)用于在運(yùn)行期間懸起轉(zhuǎn)軸，確保無(wú)污染的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)將振動(dòng)、噪聲以及維護(hù)需求降至最低。STP 泵可與各種先進(jìn)的控制器全面連接，從而可用于多種應(yīng)用和制程中。


應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）

電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

濺射

離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站

MBE

擴(kuò)散

光致抗蝕劑脫模

晶體/晶膜生長(zhǎng)

晶片檢查

負(fù)載鎖真空腔

科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

高能物理：射束線、加速器

放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

特性和優(yōu)點(diǎn)

先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

最大的制程靈活性

無(wú)油

低振動(dòng)

高度可靠

免維護(hù)

先進(jìn)的控制器設(shè)計(jì)  

自動(dòng)調(diào)整

自行診斷功能

直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

無(wú)電池運(yùn)行

緊湊型設(shè)計(jì)  

占地面積小

半機(jī)架控制器

技術(shù)數(shù)據(jù)

性能

尺寸

  • 購(gòu)買人 會(huì)員級(jí)別 數(shù)量 屬性 購(gòu)買時(shí)間
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