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商品描述
STP-iXA 4506CV VG350 TMS YT7810020
STP 泵（帶集成控制器）
STP 磁懸浮渦輪分子泵是長時間無碳氫化合物的泵操作的首選泵。多軸磁力軸承系統(tǒng)用于在運行期間懸起轉軸，確保無污染的風險，同時將振動、噪聲以及維護需求降至最低。STP 泵可與各種先進的控制器全面連接，從而可用于多種應用和制程中。
應用
金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性和優(yōu)點
由于采用全集成控制器和電源，不需要電纜和單獨的
控制器安裝卡槽，從而使 TMP 組件具有成本效益且結構緊湊，能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
最大連續(xù)流量達 4300 sccm (N2)，與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
使用最高 35 °C 的冷卻水供應時，泵能夠高效運轉。
提供了溫度管理系統(tǒng) (TMS) 裝置，用于處理在過程中產生的副產品。
I/O 遠程、RS232C、RS485、STP-Link 是標配端口。
UL 標記，CE 標記，符合 SEMI-S2 和 RoHS 標準。
技術數據
性能
尺寸
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