您當前的位置：
商品描述
STP-iXA 4506C VG300 Profibus YT780Z040
STP 泵（帶集成控制器）
STP 磁懸浮渦輪分子泵是長時間無碳氫化合物的泵操作的首選泵。多軸磁力軸承系統(tǒng)用于在運行期間懸起轉(zhuǎn)軸，確保無污染的風險，同時將振動、噪聲以及維護需求降至最低。STP 泵可與各種先進的控制器全面連接，從而可用于多種應用和制程中。
應用
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站
特性和優(yōu)點
由于采用全集成控制器和電源，不需要電纜和單獨的
控制器安裝卡槽，從而使 TMP 組件具有成本效益且結(jié)構(gòu)緊湊，能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
最大連續(xù)流量達 4300 sccm (N2)，與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
使用最高 35 °C 的冷卻水供應時，泵能夠高效運轉(zhuǎn)。
提供了溫度管理系統(tǒng) (TMS) 裝置，用于處理在過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品。
I/O 遠程、RS232C、RS485、STP-Link 是標配端口。
UL 標記，CE 標記，符合 SEMI-S2 和 RoHS 標準。
技術數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購買人 會員級別 數(shù)量 屬性 購買時間
總計 0 條記錄
- 商品滿意度 ：
-
暫無評價信息
蘇州希文控制科技有限公司 VACUUM-MALL.COM 蘇ICP備12066114號-27
本網(wǎng)站所涉及到的品牌logo,產(chǎn)品圖片所有權均歸原廠原公司所有
關注實時獲取優(yōu)惠信息
售后政策
退款說明
取消訂單
配送查詢
配送服務
配送費用
貨到付款
在線支付
對公支付
發(fā)票制度
網(wǎng)絡警察提醒您
