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緊湊型有源離子真空計(jì)配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測(cè)量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線(xiàn)性輸出。

Edwards 的新型 AIGX 真空計(jì)具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測(cè)量概念的所有優(yōu)勢(shì)，同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)擁有脫氣裝置，而且具備保護(hù)和延長(zhǎng)燈絲使用壽命的功能。

得益于極低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的最佳選擇。

RoHS56

技術(shù)

AIGX 在一個(gè)緊湊裝置內(nèi)組合了離子壓力表頭和壓力表控制器。該壓力表是一臺(tái)熱絲電離壓力表，其壓力作為電流的函數(shù)進(jìn)行間接測(cè)量。AIGX 需要 14.5 - 30 V 直流電源； 它具有與壓力相關(guān)的 0 至 10 V 直流模擬輸出。AIGX 可兼容 Edwards TIC 控制器?；蛘撸部梢允褂锚?dú)立電源，并且可以通過(guò)伏特計(jì)或模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換器讀取輸出信號(hào)。AIGX 提供兩種熱絲。壓力表頂部的開(kāi)關(guān)選擇熱絲 1 和熱絲 2。發(fā)射電流有兩個(gè)等級(jí)： 0.1 和 1 mA。該壓力表在低壓下將自動(dòng)選擇 1 mA 發(fā)射電流，在高壓下選擇 0.1 mA 發(fā)射電流。壓力表中內(nèi)置了保護(hù)電路，可防止壓力表在高于 5 x 10-2 torr 的壓力下運(yùn)行。

可以使用脫氣功能對(duì) AIGX 進(jìn)行脫氣。脫氣期間，電網(wǎng)電壓為 500 V，發(fā)射電流為 10 mA。脫氣在高壓下被禁止。脫氣最長(zhǎng)持續(xù)時(shí)間為三分鐘，之后壓力表將自動(dòng)返回正常模式。

AGX 具有設(shè)定點(diǎn)功能。設(shè)定點(diǎn)信號(hào)是一個(gè)開(kāi)極集極晶體管輸出，當(dāng)壓力表測(cè)量的壓力低于預(yù)設(shè)壓力時(shí)將開(kāi)啟。該設(shè)定點(diǎn)的運(yùn)行壓力可以使用壓力表頂部的設(shè)定行程開(kāi)關(guān)（圖 1，第 3 項(xiàng)）進(jìn)行調(diào)節(jié)。

AIGX 配備了一個(gè)狀態(tài)指示 LED（圖 1，第 4 項(xiàng)）。此 LED 指示壓力表的運(yùn)行狀態(tài)。

應(yīng)用

特性和優(yōu)點(diǎn)

全面的 8 decade 測(cè)量功能，可達(dá) 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

有兩種款型可用，每一種又有三種真空聯(lián)軸器變型：

“D”型具有 9 針“D”接頭盒標(biāo)準(zhǔn)接口；

“S”型具有增強(qiáng)的功能，與 Edwards 的各種控制器兼容

與主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比，帶電粒子制程污染減少了 30%。

自動(dòng)防止在大氣條件下啟動(dòng)燈絲以及在高壓下運(yùn)行或脫氣。

在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)真空計(jì)靈敏度始終保持穩(wěn)定，從而可以在更高壓力下保持輸出精度。

在脫氣過(guò)程中可以連續(xù)進(jìn)行壓力測(cè)量輸出。

創(chuàng)新性設(shè)計(jì)消除了 X 射線(xiàn)限制的影響。

雙色 LED 提供真空計(jì)狀態(tài)的本地指示。

輸入電壓范圍寬。

電子器件極易拆卸以進(jìn)行最高達(dá) 200 °C 的加熱。

“S”型提供有無(wú)縫的自動(dòng)發(fā)射電流切換，延長(zhǎng)了燈絲壽命。

“S”型提供有診斷輸出，指示“發(fā)射關(guān)閉”、“燈絲燒壞”和“過(guò)壓跳閘”，以幫助進(jìn)行故障排除。

“S”型提供有一個(gè)可以用按鈕調(diào)整的設(shè)定點(diǎn)。

技術(shù)數(shù)據(jù)

性能

尺寸