nXDS15i 是下一代完全無油的干式渦旋泵,可在各種應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。

應用
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學儀器


特性和優(yōu)點
真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需最低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
改進了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本
先進的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能


尺寸
