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  • VIV40EKA 24V DC A50637510
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     VIV40EKA 24V DC A50637510

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商品描述

 VIV40EKA 24V DC A50637510

VIV 真空隔離閥適用于 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 主干泵，是一款高傳導(dǎo)性、快動高真空隔離閥，適用于阻止蒸汽或微粒從后備泵到制程腔體的移動。VIV 關(guān)閉時，后備泵安全通氣。

VIV 會保護(hù)泵停止或被停止時的制程腔體進(jìn)氣。重啟后備泵時，如果 VIV 內(nèi)的壓力已經(jīng)下降，該閥門則會緩慢開啟，最大程度降低了任何壓力突升的效應(yīng)。



應(yīng)用

    

特性和優(yōu)點

·  VIV 閥門具有高傳導(dǎo)性 不限制主泵性能

·  快速關(guān)閉作用  防止微粒從后備泵進(jìn)入制程腔體

·  電源故障保護(hù)  防止發(fā)生電源故障時發(fā)生制程腔體進(jìn)氣

·  靈活的安裝選項  對于配備了 M8 閥門接頭或 15 路 D 型邏輯接口接頭的 Edwards 后備泵，Edwards 推薦使用 24V dc 閥門以及選配電纜或 VIV


技術(shù)數(shù)據(jù)


性能


尺寸




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