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BGV 氣動(dòng)閘閥 ISO100 B90003130
BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有最高的可靠性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（絕對(duì)）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的絕對(duì)壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。
應(yīng)用
特性和優(yōu)點(diǎn)
與世界密封技術(shù)先驅(qū) VAT 合作開發(fā)。
不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得專利的可靠設(shè)計(jì)，使用壽命長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的無油脂機(jī)構(gòu)最大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無需進(jìn)行壓力平衡
維修方便，只需要廉價(jià)的易耗品，低運(yùn)行成本
表面光滑，易于清潔
提供時(shí)已安裝螺線管和電線，便于訂購和安裝
即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容
技術(shù)數(shù)據(jù)
性能
尺寸
- 購買人 會(huì)員級(jí)別 數(shù)量 屬性 購買時(shí)間
- 商品滿意度 ：
-
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