nXDS10i 是下一代完全無油的干式渦旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了最新的端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可完全進(jìn)行現(xiàn)場維修。

應(yīng)用

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實(shí)驗(yàn)室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負(fù)載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

研發(fā)

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學(xué)儀器

特性和優(yōu)點(diǎn)

真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長

簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需最低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率，可降低功耗和運(yùn)行成本

先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度1800 rpm

排量12.7 m3h-1  /  7.5 ft3min-1  

峰值抽速11.4 m3h-1  /  6.7 ft3min-1  

極限真空（總壓力）0.007 mbar  /  0.005 Torr

最小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度1200 rpm

速度控制精度（以全速百分比表示）1%

最小轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速7.5

最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力200 mbar

電機(jī)功率（一相）280 W

電源連接器（1 相）IEC EN60320 C13

推薦保險(xiǎn)絲10A，250Vac rms

重量25.8 kg  /  57 lb

入口法蘭NW25

排氣口法蘭NW25

噪音級別52 dB(A)

入口法蘭處抗振性< 4.5 mms-1   (rms)

密封性（靜態(tài)）< 1x10-6 mbar ls-1  

工作溫度范圍10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

性能

尺寸