BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成,用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計的,可以使泵在前級管線維護期間繼續(xù)運行,從而使在嚴苛制程中運行的泵具有最高的可靠性和正常運行時間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar(絕對)(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的絕對壓力,并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。
雖然 BGV 閥主要用于隔離半導體工廠地下室內(nèi)的泵,但這些閥也適用于開啟時需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應用場合。

應用


特性和優(yōu)點
與世界密封技術(shù)先驅(qū) VAT 合作開發(fā)。
不銹鋼結(jié)構(gòu),采用獲得專利的可靠設(shè)計,使用壽命長
簡單的無油脂機構(gòu)最大程度減少了多塵制程中因微粒導致的損壞
可以在 1 bar 差壓下運行,因此無需進行壓力平衡
維修方便,只需要廉價的易耗品,低運行成本
表面光滑,易于清潔
提供時已安裝螺線管和電線,便于訂購和安裝
即插即用,在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導體干泵兼容

技術(shù)數(shù)據(jù)


性能

尺寸

